氧(yang)化(hua)鋅(xin)廠(han)經(jing)過(guo)熱(re)處(chu)理(li)來(lai)增(zeng)強(jiang)氧(yang)化(hua)鋅(xin)中(zhong)的(di)氮(dan)摻(can)雜(za)的(di)研(yan)究(jiu)工(gong)作(zuo)現(xian)已(yi)打(da)開(kai)。運(yun)用(yong)光(guang)致(zhi)電(dian)子(zi)順(shun)磁(ci)共(gong)振(zhen)技(ji)能(neng)(EPR),並(bing)在(zai)空(kong)氣(qi)或(huo)許(xu)氮(dan)氣(qi)氛(fen)下(xia)在(zai)600-900溫(wen)度(duo)範(fan)圍(wei)內(nei)退(tui)火(huo),在(zai)運(yun)用(yong)該(gai)方(fang)法(fa)製(zhi)備(bei)的(di)氮(dan)摻(can)雜(za)氧(yang)化(hua)鋅(xin)晶(jing)體(ti)中(zhong),調(diao)查(cha)到(dao)了(liao)氮(dan)受(shou)主(zhu)的(di)構(gou)成(cheng)。這(zhe)一(yi)成(cheng)果(guo)的(di)原(yuan)因(yin)是(shi)N在(zai)熱(re)退(tui)火(huo)過(guo)程(cheng)中(zhong)替(ti)代(dai)為(wei)淺(jian)的(di)施(shi)主(zhu)雜(za)質(zhi)。
固(gu)源(yuan)化(hua)學(xue)氣(qi)相(xiang)澱(dian)積(ji)法(fa)(SS-CVD)也(ye)可(ke)以(yi)用(yong)來(lai)氧(yang)化(hua)鋅(xin)的(di)N摻(can)雜(za)。二(er)水(shui)醋(cu)酸(suan)鋅(xin)(Zn(CH3COO)2·2H2O, solid)和(hu)(CH3COONH4, solid)別(bie)離(li)作(zuo)為(wei)固(gu)體(ti)源(yuan)和(hu)N源(yuan)。試(shi)驗(yan)成(cheng)果(guo)的(di)樣(yang)品(pin)顯(xian)示(shi)出(chu)P型(xing)導(dao)電(dian)性(xing),空(kong)穴(xue)濃(nong)度(duo)為(wei)9.8×1017 cm?3,電(dian)阻(zu)率(shuai)20Ωcm,空(kong)穴(xue)遷(qian)移(yi)率(shuai)0.97cm2 /V s。
雖(sui)然(ran)上(shang)麵(mian)報(bao)道(dao)說(shui)現(xian)已(yi)成(cheng)功(gong)的(di)獲(huo)得(dei)了(liao)N摻(can)雜(za)的(di)氧(yang)化(hua)鋅(xin)薄(bao)膜(mo),但(dan)也(ye)有(you)相(xiang)當(dang)多(duo)的(di)報(bao)道(dao),作(zuo)者(zhe)沒(mo)有(you)可(ke)以(yi)重(chong)複(fu)這(zhe)些(xie)成(cheng)果(guo),即(ji)便(pian)選(xuan)用(yong)相(xiang)同(tong)的(di)成(cheng)長(zhang)方(fang)式(shi),相(xiang)同(tong)的(di)成(cheng)長(zhang)條(tiao)件(jian)和(hu)相(xiang)同(tong)的(di)N源(yuan)。因(yin)而(er),即(ji)便(pian)以(yi)為(wei)該(gai)陳(chen)述(shu)的(di)成(cheng)果(guo)表(biao)明(ming)是(shi)真(zhen)實(shi)的(di)p型(xing)氧(yang)化(hua)鋅(xin),重(chong)現(xian)這(zhe)些(xie)成(cheng)果(guo)仍(reng)是(shi)一(yi)個(ge)大(dai)問(wen)題(ti),而(er)且(qie)這(zhe)個(ge)問(wen)題(ti)必(bi)須(xu)得(dei)在(zai)氧(yang)化(hua)鋅(xin)應(ying)用(yong)於(yu)光(guang)電(dian)子(zi)學(xue),如(ru)同(tong)質(zhi)結(jie)LED和(hu)激(ji)光(guang)二(er)極(ji)管(guan)(LDs)之(zhi)前(qian)處(chu)理(li)。最(zui)後(hou),這(zhe)個(ge)問(wen)題(ti)至(zhi)少(shao)比(bi)及(ji)高(gao)效(xiao)率(shuai)注(zhu)入(ru)的(di)ZnO的(di)p - n結(jie)才(cai)幹(gan)處(chu)理(li)。
固(gu)源(yuan)化(hua)學(xue)氣(qi)相(xiang)澱(dian)積(ji)法(fa)(SS-CVD)也(ye)可(ke)以(yi)用(yong)來(lai)氧(yang)化(hua)鋅(xin)的(di)N摻(can)雜(za)。二(er)水(shui)醋(cu)酸(suan)鋅(xin)(Zn(CH3COO)2·2H2O, solid)和(hu)(CH3COONH4, solid)別(bie)離(li)作(zuo)為(wei)固(gu)體(ti)源(yuan)和(hu)N源(yuan)。試(shi)驗(yan)成(cheng)果(guo)的(di)樣(yang)品(pin)顯(xian)示(shi)出(chu)P型(xing)導(dao)電(dian)性(xing),空(kong)穴(xue)濃(nong)度(duo)為(wei)9.8×1017 cm?3,電(dian)阻(zu)率(shuai)20Ωcm,空(kong)穴(xue)遷(qian)移(yi)率(shuai)0.97cm2 /V s。
雖(sui)然(ran)上(shang)麵(mian)報(bao)道(dao)說(shui)現(xian)已(yi)成(cheng)功(gong)的(di)獲(huo)得(dei)了(liao)N摻(can)雜(za)的(di)氧(yang)化(hua)鋅(xin)薄(bao)膜(mo),但(dan)也(ye)有(you)相(xiang)當(dang)多(duo)的(di)報(bao)道(dao),作(zuo)者(zhe)沒(mo)有(you)可(ke)以(yi)重(chong)複(fu)這(zhe)些(xie)成(cheng)果(guo),即(ji)便(pian)選(xuan)用(yong)相(xiang)同(tong)的(di)成(cheng)長(zhang)方(fang)式(shi),相(xiang)同(tong)的(di)成(cheng)長(zhang)條(tiao)件(jian)和(hu)相(xiang)同(tong)的(di)N源(yuan)。因(yin)而(er),即(ji)便(pian)以(yi)為(wei)該(gai)陳(chen)述(shu)的(di)成(cheng)果(guo)表(biao)明(ming)是(shi)真(zhen)實(shi)的(di)p型(xing)氧(yang)化(hua)鋅(xin),重(chong)現(xian)這(zhe)些(xie)成(cheng)果(guo)仍(reng)是(shi)一(yi)個(ge)大(dai)問(wen)題(ti),而(er)且(qie)這(zhe)個(ge)問(wen)題(ti)必(bi)須(xu)得(dei)在(zai)氧(yang)化(hua)鋅(xin)應(ying)用(yong)於(yu)光(guang)電(dian)子(zi)學(xue),如(ru)同(tong)質(zhi)結(jie)LED和(hu)激(ji)光(guang)二(er)極(ji)管(guan)(LDs)之(zhi)前(qian)處(chu)理(li)。最(zui)後(hou),這(zhe)個(ge)問(wen)題(ti)至(zhi)少(shao)比(bi)及(ji)高(gao)效(xiao)率(shuai)注(zhu)入(ru)的(di)ZnO的(di)p - n結(jie)才(cai)幹(gan)處(chu)理(li)。
