1.1 氧(yang)化(hua)鋅(xin)試(shi)驗(yan)所(suo)需(xu)丈(zhang)量(liang)儀(yi)器(qi)
　　以(yi)Kratos公(gong)司(si)出(chu)產(chan)的(di)剖(pou)析(xi)儀(yi)器(qi)進(jin)行(hang)XPS丈(zhang)量(liang)；能(neng)量(liang)為(wei)1486.6eV的(di)Al Ka射(she)線(xian)陽(yang)極(ji)功(gong)率(shuai)為(wei)225W的(di)激(ji)光(guang)光(guang)源(yuan)；捆(kun)綁(bang)能(neng)采(cai)納(na)碳(tan)氫(qing)化(hua)合(ge)物(wu)Cls的(di)284.8eV峰(feng)作(zuo)為(wei)能(neng)量(liang)校(jiao)正(zheng)；XRD測(ce)驗(yan)采(cai)納(na)DMAX2400型(xing)X射(she)線(xian)衍(yan)射(she)譜(pu)；測(ce)角(jue)儀(yi)設(she)置(zhi)，防(fang)散(san)狹(xia)縫(feng)及(ji)發(fa)散(san)狹(xia)縫(feng)均(jun)為(wei)1°，接(jie)納(na)狹(xia)縫(feng)為(wei)0.30 mm；掃(sao)描(miao)速(su)度(duo)為(wei)4°/min，掃(sao)描(miao)範(fan)圍(wei)在(zai)20°～80°之(zhi)間(jian)；運(yun)用(yong)SMS1000型(xing)霍(huo)爾(er)丈(zhang)量(liang)儀(yi)進(jin)行(hang)摻(can)雜(za)活(huo)性(xing)原(yuan)子(zi)N的(di)ZnO薄(bao)膜(mo)Hall丈(zhang)量(liang)；運(yun)用(yong)F-2500型(xing)光(guang)譜(pu)儀(yi)進(jin)行(hang)吸(xi)收(shou)光(guang)譜(pu)及(ji)光(guang)致(zhi)發(fa)光(guang)光(guang)譜(pu)丈(zhang)量(liang)；PL譜(pu)丈(zhang)量(liang)條(tiao)件(jian)設(she)定(ding)：掃(sao)描(miao)速(su)度(duo)為(wei)300 nm/min；激(ji)光(guang)光(guang)源(yuan)波(bo)長(zhang)為(wei)320.0 nm，光(guang)源(yuan)狹(xia)縫(feng)為(wei)20.0 nm，接(jie)納(na)光(guang)譜(pu)狹(xia)縫(feng)設(she)定(ding)為(wei)20.0 nm；PNT電(dian)壓(ya)設(she)定(ding)為(wei)400 V。
　　1.2 試(shi)驗(yan)進(jin)程(cheng)
　　運(yun)用(yong)CVD技(ji)能(neng)，製(zhi)備(bei)摻(can)氮(dan)ZnO薄(bao)膜(mo)，運(yun)用(yong)二(er)水(shui)合(ge)醋(cu)酸(suan)鋅(xin)為(wei)前(qian)驅(qu)，氮(dan)源(yuan)采(cai)納(na)醋(cu)酸(suan)銨(an)，將(qiang)二(er)水(shui)合(ge)醋(cu)酸(suan)鋅(xin)溫(wen)度(duo)操(cao)控(kong)為(wei)250 ℃，醋(cu)酸(suan)銨(an)溫(wen)度(duo)操(cao)控(kong)在(zai)120 ℃；依(yi)據(ju)不(bu)同(tong)的(di)測(ce)驗(yan)意(yi)圖(tu)，出(chu)產(chan)ZnO薄(bao)膜(mo)襯(chen)底(di)資(zi)料(liao)別(bie)離(li)挑(tiao)選(xuan)運(yun)用(yong)矽(gui)片(pian)、一(yi)般(pan)玻(bo)片(pian)、石(dan)英(ying)玻(bo)片(pian)及(ji)ITO導(dao)電(dian)玻(bo)璃(li)；將(qiang)氧(yang)氣(qi)流(liu)量(liang)設(she)定(ding)為(wei)10 ml/min；經(jing)過(guo)體(ti)係(ji)內(nei)溫(wen)度(duo)及(ji)壓(ya)強(jiang)，對(dui)產(chan)品(pin)爐(lu)內(nei)產(chan)品(pin)進(jin)行(hang)操(cao)控(kong)，中(zhong)心(xin)溫(wen)區(ou)溫(wen)度(duo)操(cao)控(kong)在(zai)400 ℃～500 ℃範(fan)圍(wei)內(nei)，升(sheng)溫(wen)及(ji)保(bao)溫(wen)時(shi)間(jian)別(bie)離(li)為(wei)60 min與(yu)30 min，壓(ya)強(jiang)設(she)定(ding)為(wei)0.1～2.0 kPa；在(zai)試(shi)驗(yan)反(fan)響(xiang)完(wan)畢(bi)後(hou)，體(ti)係(ji)在(zai)氧(yang)氣(qi)中(zhong)天(tian)然(ran)冷(leng)卻(que)到(dao)室(shi)溫(wen)溫(wen)度(duo)。試(shi)驗(yan)設(she)置(zhi)狀(zhuang)況(kuang)如(ru)圖(tu)1。
　　在(zai)ITO導(dao)電(dian)玻(bo)璃(li)中(zhong)生(sheng)長(zhang)出(chu)ZnO p-n結(jie)器(qi)材(cai)，運(yun)用(yong)電(dian)解(xie)法(fa)或(huo)烯(xi)酸(suan)將(qiang)導(dao)電(dian)玻(bo)璃(li)外(wai)表(biao)存(cun)在(zai)的(di)ITO資(zi)料(liao)塗(tu)層(ceng)進(jin)行(hang)腐(fu)蝕(shi)，構(gou)成(cheng)絕(jue)緣(yuan)區(ou)域(yu)；在(zai)導(dao)電(dian)玻(bo)璃(li)上(shang)依(yi)照(zhao)必(bi)定(ding)次(ci)第(di)，掩(yan)蓋(ge)生(sheng)成(cheng)一(yi)層(ceng)P型(xing)ZnO薄(bao)膜(mo)及(ji)n型(xing)ZnO薄(bao)膜(mo)；運(yun)用(yong)真(zhen)空(kong)蒸(zheng)發(fa)鍍(du)膜(mo)法(fa)鍍(du)鋁(lv)電(dian)極(ji)。
　　2氧(yang)化(hua)鋅(xin) 試(shi)驗(yan)成(cheng)果(guo)及(ji)剖(pou)析(xi)
　　2.1 XPS丈(zhang)量(liang)成(cheng)果(guo)剖(pou)析(xi)
　　將(qiang)反(fan)響(xiang)爐(lu)內(nei)從(zong)高(gao)溫(wen)區(ou)到(dao)低(di)溫(wen)區(ou)固(gu)體(ti)粉(fen)末(mo)樣(yang)本(ben)設(she)定(ding)為(wei)待(dai)測(ce)樣(yang)品(pin)D1、D2、D3、D4。其(qi)間(jian)D1、D2歸(gui)於(yu)中(zhong)心(xin)高(gao)溫(wen)區(ou)500 ℃環(huan)境(jing)中(zhong)，D3、D4則(ze)歸(gui)於(yu)低(di)溫(wen)區(ou)200 ℃環(huan)境(jing)中(zhong)。測(ce)驗(yan)元(yuan)素(su)別(bie)離(li)為(wei)鋅(xin)原(yuan)子(zi)、氧(yang)原(yuan)子(zi)、碳(tan)原(yuan)子(zi)及(ji)氮(dan)原(yuan)子(zi)。XPS丈(zhang)量(liang)成(cheng)果(guo)如(ru)圖(tu)2。
　　研(yan)討(tao)上(shang)圖(tu)數(shuo)據(ju)，能(neng)夠(gou)獲(huo)得(dei)樣(yang)品(pin)D1、D2中(zhong)所(suo)含(han)有(you)的(di)氮(dan)原(yuan)子(zi)含(han)量(liang)明(ming)顯(xian)高(gao)於(yu)D3、D4樣(yang)品(pin)中(zhong)含(han)氮(dan)原(yuan)子(zi)含(han)量(liang)，這(zhe)種(zhong)現(xian)象(xiang)標(biao)明(ming)，體(ti)係(ji)中(zhong)發(fa)作(zuo)了(liao)含(han)有(you)氮(dan)元(yuan)素(su)的(di)ZnO反(fan)響(xiang)；在(zai)高(gao)溫(wen)區(ou)發(fa)作(zuo)ZnO反(fan)響(xiang)要(yao)比(bi)低(di)溫(wen)區(ou)發(fa)作(zuo)的(di)反(fan)響(xiang)較(jiao)為(wei)強(jiang)烈(lie)。
　　經(jing)過(guo)研(yan)討(tao)樣(yang)品(pin)的(di)XPS圖(tu)譜(pu)，依(yi)據(ju)樣(yang)品(pin)結(jie)合(ge)能(neng)峰(feng)進(jin)行(hang)推(tui)斷(duan)，能(neng)夠(gou)獲(huo)取(qu)樣(yang)品(pin)D1、D2中(zhong)可(ke)能(neng)出(chu)產(chan)摻(can)氮(dan)氧(yang)化(hua)鋅(xin)化(hua)合(ge)物(wu)，而(er)在(zai)D3、D4樣(yang)品(pin)中(zhong)，含(han)有(you)大(dai)量(liang)的(di)氧(yang)原(yuan)子(zi)及(ji)碳(tan)原(yuan)子(zi)，氮(dan)原(yuan)子(zi)含(han)量(liang)極(ji)低(di)，然(ran)後(hou)標(biao)明(ming)，在(zai)高(gao)溫(wen)區(ou)範(fan)圍(wei)內(nei)構(gou)成(cheng)摻(can)氮(dan)的(di)p-ZnO可(ke)能(neng)性(xing)較(jiao)大(dai)。